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中国电子行业超纯水标准


2013-08-14 15:30:38   来源：皓泉水处理    点击：
中国电子行业超纯水标准
指 标 名 称
一 级 水（EW-1）
二 级 水（EW-2）
　电阻率MΩ.CM. （25℃）
18(95‰时间)不低于17
15(95‰时间)不低于13
　　硅　　　≤μg/L
2
10
　＞1μm　微粒数
0.1
5
　细菌个数　≤个/ml
0.01
0.1
　　铜　　　≤μg/L
0.2
1
　　锌　　　≤μg/L
0.2
1
　　镍　　　≤μg/L
0.1
1
　　钠　　　≤μg/L
0.5
2
　　钾　　　≤μg/L
0.5
2
　　氯　　　≤μg/L
1
1
　硝酸根　　≤μg/L
1
1
　磷酸根　　≤μg/L
1
1
　硫酸根　　≤μg/L
1
1
　总有机碳　≤μg/L
20
100
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