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电子工业用超纯水设备-昆明超纯水设备设计工艺
2014-05-10 10:55:29 来源：皓泉水处理 点击：
| 半导体，集成电路芯片和封装，液晶显示，高精度电路板，光电器件，各种电子器件，微电子工业，大型超大规模集成电路需要大量高纯度水，超纯水 清洗半成品。 集成电路集成度越高，对水质要求越高。 目前，中国电子工业部对电子水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm，15MΩ.cm，10MΩ.cm，2MΩ.cm，0.5MΩ.cm，以区分不同的水质。 | |||||||||
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| 用两级反渗透制取 电子工业超纯水处理设备 |
采用两级反渗透主机加EDI 制取电子工业超纯水处理设备 |
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| 制备电子工业用超纯水的工艺流程 | |||||||||
| 电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种： 1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点 2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点 3、采用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子（EDI）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点 |
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| 三种制备电子工业用超纯水的工艺比较 | |||||||||
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目前，电子工业超纯水的制备基本上都在三个以上，其余的工艺流程大都是在以上三个基本过程的基础上，从不同的组合派生出来的。现在他们的优点和缺点如下： 1，首先使用离子交换树脂具有投资少，发生少的优点，但缺点是需要频繁的离子再生，消耗大量的酸碱，而且对环境有一定的破坏。
2，第二次使用反渗透作为预处理与离子交换设备相结合，其特点是初始使用离子交换树脂的方式要高，但离子设备的再生循环比较长，酸和碱比简单使用离子树脂少得多。但环境依然有一定的破坏性。
3，第三次使用反渗透预处理与电离电离（EDI）装置，这是最经济的超纯水，最环保的生产超纯水工艺，不需要使用酸再生可以连续制备超纯水，对环境无破坏性。缺点是相对于上述两种方法的初始投资太贵了。
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| 电子工业用超纯水的应用领域 | |||||||||
| 1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路； 2、超纯材料和超纯化学试剂； 3、实验室和中试车间； 4、汽车、家电表面抛光处理； 5、光电产品； 6、其他高科技精微产品； |
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